集成电路
硅、石英、陶瓷、碳化硅等零部件广泛应用于集成电路行业
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产品广泛应用面板显示行业干法刻蚀、
化学气象沉积、物理气象沉积、蒸镀工艺中
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大直径单晶硅棒、CVD碳化硅材料应用于集成电路零部件制作
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